القيمة المستهدفة للرطوبة النسبية في غرفة نظيفة لأشباه الموصلات (FAB).

تبلغ القيمة المستهدفة للرطوبة النسبية في غرفة نظيفة مصنوعة من أشباه الموصلات (FAB) ما يقرب من 30 إلى 50%، مما يسمح بهامش خطأ ضيق يبلغ ±1%، كما هو الحال في منطقة الطباعة الحجرية - أو حتى أقل في معالجة الأشعة فوق البنفسجية البعيدة (DUV). المنطقة - بينما في أماكن أخرى يمكن تخفيفها إلى ±5%.
لأن الرطوبة النسبية لها مجموعة من العوامل التي يمكن أن تقلل من الأداء العام للغرف النظيفة، بما في ذلك:
1. نمو البكتيريا.
2. نطاق راحة درجة حرارة الغرفة للموظفين؛
3. تظهر الشحنة الكهروستاتيكية.
4. تآكل المعادن.
5. تكثيف بخار الماء.
6. تدهور الطباعة الحجرية.
7. امتصاص الماء.

يمكن للبكتيريا والملوثات البيولوجية الأخرى (العفن والفيروسات والفطريات والعث) أن تزدهر في البيئات التي تزيد فيها الرطوبة النسبية عن 60%. يمكن لبعض المجتمعات البكتيرية أن تنمو عند رطوبة نسبية تزيد عن 30%. وترى الشركة أنه يجب التحكم في نسبة الرطوبة في حدود 40% إلى 60%، وهو ما يمكن أن يقلل من تأثير البكتيريا والتهابات الجهاز التنفسي.

الرطوبة النسبية التي تتراوح بين 40% إلى 60% تعتبر أيضًا نطاقًا معتدلًا لراحة الإنسان. الرطوبة الزائدة يمكن أن تجعل الناس يشعرون بالاختناق، في حين أن الرطوبة أقل من 30٪ يمكن أن تجعل الناس يشعرون بالجفاف، وتشقق الجلد، وعدم الراحة في الجهاز التنفسي، والتعاسة العاطفية.

تقلل الرطوبة العالية في الواقع من تراكم الشحنات الكهروستاتيكية على سطح غرفة الأبحاث – وهي النتيجة المرجوة. تعتبر الرطوبة المنخفضة مثالية لتراكم الشحنات ومصدرًا محتملًا للتفريغ الكهروستاتيكي. عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 50%، تبدأ الشحنات الكهروستاتيكية في التبدد بسرعة، ولكن عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30%، فيمكن أن تستمر لفترة طويلة على عازل أو سطح غير مؤرض.

يمكن استخدام الرطوبة النسبية بين 35% و40% كحل وسط مرضٍ، وتستخدم الغرف النظيفة لأشباه الموصلات بشكل عام ضوابط إضافية للحد من تراكم الشحنات الكهروستاتيكية.

وتزداد سرعة العديد من التفاعلات الكيميائية، بما في ذلك عمليات التآكل، مع زيادة الرطوبة النسبية. جميع الأسطح المعرضة للهواء حول الغرفة النظيفة سريعة الحركة.