تبلغ القيمة المستهدفة للرطوبة النسبية في غرفة نظيفة لأشباه الموصلات (FAB) ما يقرب من 30 إلى 50%، مما يسمح بهامش خطأ ضيق يبلغ ±1%، كما هو الحال في منطقة الطباعة الحجرية - أو حتى أقل في منطقة المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية البعيدة (DUV) - بينما يمكن تخفيفه في أماكن أخرى إلى ±5%.
لأن الرطوبة النسبية لها مجموعة من العوامل التي يمكن أن تقلل من الأداء العام للغرف النظيفة، بما في ذلك:
1. نمو البكتيريا؛
2. نطاق درجة حرارة الغرفة المريحة للموظفين؛
3. تظهر شحنة كهروستاتيكية؛
4. تآكل المعادن؛
5. تكاثف بخار الماء؛
6. تدهور الطباعة الحجرية؛
7. امتصاص الماء.
يمكن للبكتيريا والملوثات البيولوجية الأخرى (العفن، والفيروسات، والفطريات، والعث) أن تزدهر في بيئات ذات رطوبة نسبية تزيد عن 60%. ويمكن لبعض التجمعات البكتيرية أن تنمو عند رطوبة نسبية تزيد عن 30%. وترى الشركة أنه ينبغي التحكم في الرطوبة في نطاق يتراوح بين 40% و60%، مما يُقلل من تأثير البكتيريا والتهابات الجهاز التنفسي.
الرطوبة النسبية التي تتراوح بين 40% و60% تُعدّ أيضًا معتدلة لراحة الإنسان. فالرطوبة الزائدة قد تُشعر الإنسان بالاختناق، بينما تُسبب الرطوبة التي تقل عن 30% جفافًا وتشققًا في الجلد واضطرابًا في التنفس وضيقًا نفسيًا.
الرطوبة العالية تُقلل في الواقع من تراكم الشحنات الكهروستاتيكية على سطح الغرفة النظيفة، وهي نتيجة مرغوبة. الرطوبة المنخفضة مثالية لتراكم الشحنات، وهي مصدر مُحتمل للتفريغ الكهروستاتيكي. عندما تتجاوز الرطوبة النسبية 50%، تبدأ الشحنات الكهروستاتيكية بالتبدد بسرعة، ولكن عندما تكون الرطوبة النسبية أقل من 30%، فقد تبقى لفترة طويلة على عازل أو سطح غير مؤرض.
يمكن استخدام الرطوبة النسبية بين 35% و40% كحل وسط مرضي، وتستخدم غرف أشباه الموصلات النظيفة بشكل عام ضوابط إضافية للحد من تراكم الشحنات الكهروستاتيكية.
تزداد سرعة العديد من التفاعلات الكيميائية، بما فيها عمليات التآكل، مع زيادة الرطوبة النسبية. جميع الأسطح المعرضة للهواء حول الغرفة النظيفة سريعة.
وقت النشر: ١٥ مارس ٢٠٢٤
بيت
منتجات
اتصل بنا
أخبار